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容器内面を超精密に研磨加工した容器です。
内面の凹凸が極めて少なく、容器内部にホコリ等の微小な異物が残りません。
主な用途・使用例
半導体向けガスや高純度ガスの充塡
UCマーク(半導体基盤技術研究会推奨)の表示承認を得るなど、高い信頼性が評価されています。
該当製品 標準仕様 目次
6. ウルトラクリーン容器
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